投資要點：

 

    2022 年4 月國內主流晶圓廠共開標108 臺工藝設備，上海積塔為擴產主力。我們以長江存儲、華力集成龍頭股、華力微電子、福建晉華、華虹無錫、合肥晶合、上海積塔、中車時代、中芯紹興、武漢新芯10 家中國大陸主要的IDM 或代工企業為統計樣本，通過中國國際招標網對上述晶圓廠中標情況進行梳理。2022 年4 月國內10 家主流晶圓廠共開標108 臺工藝設備，主要來自上海積塔（78 臺）、華虹無錫（20臺）、福建晉華（5 臺）、時代電氣（3 臺）、華力微電子（1 臺）、華力集成（1 臺）。

 

    22 年1-4 月合計開標401 臺工藝設備概念股，主要來自華虹無錫（268 臺）、上海積塔（104 臺）、時代電氣（14 臺）、福建晉華（12 臺）、華力集成（2 臺）、華力微電子（1 臺）。

 

    爐管、刻蝕設備為2022 年4 月國內晶圓廠主要開標設備。2022 年4 月開標的108臺設備龍頭股中，按照不同工藝設備開標數量從高到低排列，分別為爐管設備（30 臺）、刻蝕設備（29 臺）、前道檢測設備（10 臺）、清洗設備（10 臺）、干法去膠設備（9臺）、沉積設備（8 臺）、離子注入機（4 臺）、涂膠顯影設備（4 臺）、后道測試設備（2 臺）、光刻機（1 臺）、拋光設備（1 臺）。2022 年1-4 月開標的401 臺設備中，按照不同工藝設備開標數量從高到低排列，分別為爐管設備（112 臺）、刻蝕設備（61 臺）、沉積設備（61 臺）、前道檢測設備（48 臺）、后道測試設備（35 臺）、離子注入機（18 臺）、清洗設備（17 臺）、拋光設備（15 臺）、涂膠顯影設備（14臺）、干法去膠設備（14 臺）、光刻機（6 臺）。

 

    受國內刻蝕、干法去膠、涂膠顯影等設備廠家拉動，中標國產率持續提升。2022年4 月中國大陸設備中標數量為67 臺，國產率達62%。2022 年1-4 月開標的401臺設備中，源自中國大陸廠家制造的設備共計97 臺，占比達24.2%。分晶圓廠看，2022 年1-4 月，上海積塔設備國產率超40%；分設備看，2022 年1-4 月國產率較高的環節主要為干法去膠設備（國產率71%）、刻蝕設備（51%）、清洗設備（41%）、離子注入機（39%）、拋光設備龍頭股（27%）、涂膠顯影設備（21%）。聚焦4月份國內中標廠商，北方華創（中標33 臺）、中微公司（13 臺）、屹唐（10 臺）、芯源微（7 臺）、上海精測概念股（1 臺）、盛美上海（1 臺）排名靠前，持續體現國內廠家在刻蝕、清洗、干法去膠、涂膠顯影等設備環節的強勢地位。

 

    投資建議：重點關注國內半導體設備龍頭北方華創（002371）；高端刻蝕設備龍頭中微公司（688012）；持續突破高端后道測試機的長川科技（300604）、華峰測控（688200）；涂膠顯影與單片清洗不斷突破前道環節的國內半導體設備小巨人芯源微（688037）；半導體薄膜沉積龍頭拓荊科技（688072）；國產清洗設備領軍企業盛美上海（ 688082）、至純科技（ 603690）； 離子注入機領先企業萬業企業（600641）；半導體環保設備領先企業盛劍環境（603324）等。

 

    風險提示：晶圓廠擴產不及預期、設備概念股公司研發不及預期、中美貿易摩擦風險。

 

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