2022 年6 月國內(nèi)主流晶圓廠共開標68 臺工藝設(shè)備概念股，上海積塔為擴產(chǎn)主力。我們以長江存儲、華力集成、華力微電子、福建晉華、華虹無錫、合肥晶合、上海積塔、中車時代、中芯紹興、武漢新芯10 家中國大陸主要的IDM 或代工企業(yè)為統(tǒng)計樣本，通過中國國際招標網(wǎng)對上述晶圓廠中標情況進行梳理。2022 年6 月國內(nèi)10 家主流晶圓廠共開標68 臺工藝設(shè)備，主要來自上海積塔（52 臺）、華虹無錫（11臺）、福建晉華概念股（3 臺）、華力集成（1 臺）。22 年1-6 月合計開標548 臺工藝設(shè)備，主要來自華虹無錫（291 臺）、上海積塔（210 臺）、時代電氣（16 臺）、福建晉華（23 臺）、華力集成（6 臺）、華力微電子（2 臺）。

 

    干法去膠機、后道測試、清洗設(shè)備為2022 年6 月國內(nèi)晶圓廠主要開標設(shè)備。2022年6 月開標的68 臺設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備龍頭股開標數(shù)量從高到低排列，分別為干法去膠機（14 臺）、清洗設(shè)備（13 臺）、后道測試設(shè)備（11 臺）、離子注入機（9臺）、沉積設(shè)備（8 臺）、刻蝕設(shè)備概念股（8 臺）、前道檢測設(shè)備（2 臺）、爐管設(shè)備（2 臺）、拋光設(shè)備（1 臺）。2022 年1-6 月開標的548 臺設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備開標數(shù)量從高到低排列，分別爐管設(shè)備（119 臺）、沉積設(shè)備（97 臺）、刻蝕設(shè)備（82 臺）、前道檢測設(shè)備（64 臺）、后道測試設(shè)備（46 臺）、清洗設(shè)備（33臺）、干法去膠設(shè)備（31 臺）、離子注入機（28 臺）拋光設(shè)備（21 臺）、涂膠顯影設(shè)備（17 臺）、光刻機（10 臺）。

 

    受國內(nèi)刻蝕、干法去膠、涂膠顯影等設(shè)備廠家拉動，中標國產(chǎn)率持續(xù)提升。2022年6 月中國大陸設(shè)備中標數(shù)量為44 臺，國產(chǎn)率達64.7%。2022 年1-6 月開標的548 臺設(shè)備中，源自中國大陸廠家制造的設(shè)備共計189 臺，占比達34.5%。分晶圓廠看，2022 年1-6 月，上海積塔設(shè)備國產(chǎn)率超50%；分設(shè)備看，2022 年1-6 月國產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)主要為干法去膠設(shè)備（國產(chǎn)率81%）、刻蝕設(shè)備（54%）、拋光設(shè)備（43%）、清洗設(shè)備（58%）、涂膠顯影設(shè)備概念股（35%）。聚焦6 月份國內(nèi)中標廠商，稷以科技（12 臺）、捷佳偉創(chuàng)（中標11 臺）、中微公司（7 臺）排名靠前，持續(xù)體現(xiàn)國內(nèi)廠家在刻蝕、清洗、干法去膠、涂膠顯影等設(shè)備環(huán)節(jié)的強勢地位。

 

    投資建議：重點關(guān)注國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)（002371）；高端刻蝕設(shè)備龍頭中微公司（688012）；持續(xù)突破高端后道測試機的長川科技（300604）、華峰測控（688200）；涂膠顯影與單片清洗不斷突破前道環(huán)節(jié)的國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備小巨人芯源微（688037）；半導(dǎo)體薄膜沉積龍頭拓荊科技（688072）；國產(chǎn)清洗設(shè)備龍頭股領(lǐng)軍企業(yè)盛美上海（688082）、至純科技（603690）；離子注入機領(lǐng)先企業(yè)萬業(yè)企業(yè)（600641）；半導(dǎo)體環(huán)保設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)盛劍環(huán)境（603324）等。

 

    風險提示：晶圓廠擴產(chǎn)不及預(yù)期、設(shè)備公司研發(fā)不及預(yù)期、中美貿(mào)易龍頭股摩擦風險

 

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